Thương hiệu: AmatMô tả: Bảng điều khiển điểm cuối CMPĐiều kiện: Thương hiệu mớiGiấy chứng nhận: Thư bảo hành báo cáo kiểm tra COOBảo hành: 1 nămHàng tồn kho Qty: 3Thời hạn thanh toán: T/T.Cảng vận chuyển: Thâm QuyếnAMAT 0100-77014 là một mô-đun điều khiển được sử dụng trong thiết bị sản xuất chất bán dẫn. Nó chủ yếu được sử dụng để xử lý tín hiệu, giao tiếp hệ thống và giám sát quy trình. Nó được tích hợp vào nền tảng thiết bị AMAT để đảm bảo tính ổn định và hiệu suất thời gian thực.
| Sản xuất |
Rất |
| Số mô hình |
0100-77014 |
| Đất nước xuất xứ |
Hoa Kỳ |
| Mã HS |
85389000 |
| Kích thước |
25*15*3cm |
| Kích thước đóng gói |
27*17*5cm |
| Cân nặng |
1kg |
Thông số kỹ thuật
Điện áp đầu vào: DC 24V ± 10%
Tiêu thụ điện năng: ≤15W
Sự cô lập chịu được điện áp: 1500V AC/1 phút
Giao diện giao tiếp: RS-232/RS-485, Ethernet (10/100Mbps)
Nhiệt độ hoạt động: 0 ° C đến 50 ° C
Hỗ trợ đầu vào/đầu ra tương tự 4-20mA
I/O kỹ thuật số: 8 kênh
Tần số lấy mẫu: 1kHz
Độ chính xác: ± 0,1% fs
Cấp độ bảo vệ: IP67
Phương pháp cài đặt: DIN Rail hoặc bảng điều khiển cố định
Các tính năng chức năng
1. Giám sát và phản hồi quy trình thời gian thực
AMAT 0100-77014 theo dõi các tham số chính như nhiệt độ, áp suất, tốc độ dòng chảy, v.v. Trong thời gian thực thông qua mô-đun thu thập dữ liệu tốc độ cao và điều chỉnh động các tham số quá trình kết hợp với các thuật toán tích hợp để đảm bảo tính nhất quán của việc xử lý wafer
2. Giao tiếp dự phòng và thiết kế độ tin cậy cao
0100-77014 Hỗ trợ giao tiếp dự phòng liên kết kép (RS-232 + Ethernet), chuyển đổi tự động giữa các thiết bị chính và thiết bị dự phòng, đảm bảo hoạt động thời gian chết của AMAT 0100-77014 trong sản xuất liên tục 24/7
3. Khả năng tương thích đa giao thức và tích hợp hệ thống
Tương thích với các giao thức công nghiệp như DNET và Modbus TCP, kết nối liền mạch với hệ thống máy tính máy chủ của Amat Endura, Centura và các nền tảng khác, để đạt được quản lý tập trung dữ liệu quy trình
4. Bảo vệ an toàn và liên kết báo động
AMAT 0100-77014 đã tích hợp các mạch bảo vệ quá áp/quá dòng, hỗ trợ báo động kích hoạt ngưỡng (liên kết âm thanh và ánh sáng/PLC), để ngăn chặn thiệt hại thiết bị do điều kiện làm việc bất thường do điều kiện làm việc bất thường
Kịch bản ứng dụng
1. Quy trình cấy ghép ion năng lượng cao
Được sử dụng cho hệ thống điều khiển liều của Implanter ion Viista 3000XP/900XP, hiệu chuẩn thời gian thực của góc và tính đồng nhất liều
2. Giám sát lắng đọng kim loại PVD
Giám sát nhiệt độ mục tiêu và áp suất buồng chân không trong nền tảng Endura để tối ưu hóa tốc độ lắng đọng màng thiếc/Ti.
3. điều khiển dòng khí
Được tích hợp trong buồng phản ứng Centura 5200, điều chỉnh động dòng khí quá trình như TEOS và SIH₄ để đảm bảo tính nhất quán của độ dày màng
