Rất 0100-77040

Thông số kỹ thuật

Điện áp đầu vào: 100 trận240V AC

Giao diện truyền thông: Ethernet, RS-485 (

Phạm vi nhiệt độ hoạt động: -10 ℃ đến +60 ℃

Cấp độ bảo vệ: IP20

Thời gian đáp ứng: ≤5ms

Áp suất khí nén tương thích: 0,5 Hàng1.0MPa

Tuổi thọ cơ học: ≥1 triệu chu kỳ

Các tính năng chức năng

1. Điều khiển ổ đĩa khí nén chính xác cao

AMAT 0100-77040 sử dụng công nghệ phản hồi vòng kín để điều chỉnh mức độ mở và đóng và đầu ra áp suất của van khí nén trong thời gian thực để đảm bảo độ chính xác ở cấp độ milimet của các hành động của các bộ truyền động như cánh tay robot chuyển và con dấu buồng và giảm nguy cơ thiệt hại wafer.

2. Tích hợp giao tiếp công nghiệp đa giao thức

0100-77040 hỗ trợ các giao thức Ethernet, RS-485 và DeviceNet để đạt được kết nối liền mạch với các hệ thống điều khiển chính của Amat Centura, Endura và các nền tảng khác. AMAT 0100-77040 Nó có thể truyền dữ liệu trạng thái thiết bị đến đơn vị giám sát trung tâm để cải thiện mức độ tự động hóa của toàn bộ máy.

3. Chống can thiệp và tự chẩn đoán lỗi

Mạch che chắn điện từ tích hợp và thiết kế mạch dự phòng có thể chống lại sự can thiệp tần số vô tuyến (RFI) và biến động nguồn điện một cách hiệu quả; Nó có chức năng phát hiện lỗi thời gian thực, có thể kích hoạt báo động âm thanh và ánh sáng và ghi lại mã lỗi khi bất thường, rút ​​ngắn chu kỳ bảo trì.

4 Triển khai nhanh mô -đun

AMAT 0100-77040 áp dụng cấu trúc cài đặt khe cắm thẻ được tiêu chuẩn hóa, tương thích với đơn vị khí nén đầu của thiết bị như AMAT P5000 và nền tảng cấy Ion Viista, hỗ trợ thay thế hoán đổi nóng và giảm đáng kể thời gian ngừng hoạt động của thiết bị thiết bị

Kịch bản ứng dụng

Hệ thống chuyển wafer: Lái bộ kẹp khí nén của cánh tay robot để đạt được sự chuyển wafer tốc độ cao giữa buồng chân không và khóa tải (như thiết bị PVD/CVD)

Điều khiển niêm phong buồng xử lý: Điều chỉnh van cổng (van khe) để duy trì trạng thái phân lập chân không của buồng khắc/lắng đọng