Thương hiệu: AmatMô tả: Bảng giao diệnĐiều kiện: Thương hiệu mớiGiấy chứng nhận: Thư bảo hành báo cáo kiểm tra COOBảo hành: 1 nămHàng tồn kho Qty: 5Thời hạn thanh toán: T/T.Cảng vận chuyển: Thâm QuyếnLà bảng giao diện, AMAT 0100-20004 có thể nhận ra tương tác dữ liệu và giám sát thời gian thực giữa nhiều mô-đun, có tính đến cả độ ổn định của quá trình và hiệu quả tích hợp hệ thống.
Sản xuất |
Rất |
Số mô hình |
0100-20004 |
Đất nước xuất xứ |
Hoa Kỳ |
Mã HS |
85049020 |
Kích thước |
20*12*2cm |
Kích thước đóng gói |
20*14*4cm |
Cân nặng |
0,7kg |
Điện áp đầu vào: 100 trận240V AC
Điện áp đầu ra: 24V DC
Giao diện giao tiếp: Ethernet (10/100base-T), RS-485 (tốc độ baud 9600 Tiết115200bps)
Nhiệt độ hoạt động: -10 đến 60 ℃
Tỷ lệ lấy mẫu dữ liệu: 100 Hz
Cấp độ bảo vệ: IP20
Phương pháp cài đặt: Hướng dẫn cố định đường sắt hoặc vít
Phạm vi đầu vào: -10V đến +10V
Kênh kỹ thuật số: 16 đầu vào/đầu ra bị cô lập (cấp độ TTL/CMOS)
Hỗ trợ giao thức: Modbus TCP, DNET
Các tính năng chức năng
1. Trung tâm định tuyến tín hiệu đa hệ thống
AMAT 0100-20004, với tư cách là bảng kết nối lõi, tích hợp chức năng định tuyến tín hiệu mật độ cao để đạt được tương tác dữ liệu liền mạch giữa bộ điều khiển buồng, cảm biến và bộ điều khiển chính, giảm độ phức tạp của dây và cải thiện tốc độ phản hồi
2. Đảm bảo chống can thiệp và ổn định
Tec7hnology và thiết kế cung cấp năng lượng bị cô lập được sử dụng để đảm bảo rằng AMAT 0100-20004 hoạt động ổn định trong môi trường tần số vô tuyến điện áp cao (RF) và tỷ lệ lỗi tín hiệu nhỏ hơn 0,001%
3. Giám sát và chẩn đoán quy trình thời gian thực
0100-20004 Công cụ thu thập dữ liệu thời gian thực tích hợp hỗ trợ giám sát động và báo động bất thường về các thông số quy trình (nhiệt độ, áp suất, dòng chảy), giúp AMAT 0100-20004 để đạt được bảo trì dự đoán và giảm rủi ro thời gian ngừng hoạt động của thiết bị
4. Tối ưu hóa tích hợp và tương thích nhanh chóng
Cung cấp các giao diện được tiêu chuẩn hóa và cấu hình cắm và chơi, tương thích với AMAT Centura 5200, Endura 5500 và các nền tảng khác, rút ngắn chu kỳ gỡ lỗi thiết bị hơn 30%
Kịch bản ứng dụng
1. Quá trình cấy ion
Được sử dụng để tích hợp tín hiệu buồng của Ion Ion Viista 3000XP/900XP để đạt được điều khiển góc và hiệu chuẩn liều
2. Thiết bị lắng đọng màng mỏng
Định tuyến dòng khí, tín hiệu công suất và nhiệt độ RF trong hệ thống Centura CVD/PVD để đảm bảo tính đồng nhất của màng
3. Kiểm soát hệ thống chân không
Kết nối máy đo độ chân chân không, bơm phân tử và bộ phận làm mát để theo dõi mức độ chân không và báo động rò rỉ trong thời gian thực (như nền tảng Endura)
4. Tự động hóa chuyển wafer
Lái xe robot (như tìm nạp cánh tay) và hệ thống định vị wafer để cải thiện độ chính xác truyền và hiệu quả thông lượng