Rất 0100-35054

Thông số kỹ thuật

Loại giao diện: Tương thích với bus VME, hỗ trợ truyền dữ liệu song song 16 bit.

Điện áp vận hành: 24V DC ± 5%, tải hiện tại tối đa 2A.

Nhiệt độ hoạt động: -10 ° C đến 70 ° C.

Cấp độ bảo vệ: IP20.

Thời gian phản hồi tín hiệu: ≤5ms, đảm bảo kích hoạt nhanh của khóa liên động

Các tính năng chức năng

1. Bảo vệ an toàn để tăng cường:

AMAT 0100-35054 Tích hợp nhiều kênh đầu vào cảm biến, có thể theo dõi đồng bộ áp suất buồng, lưu lượng khí và các tham số nhiệt độ. Khi phát hiện ra giá trị quá giới hạn, nguồn cung cấp điện ngay lập tức bị cắt và nguồn nguy hiểm bị cô lập để đảm bảo an toàn cho thiết bị và người vận hành

2. Tối ưu hóa khả năng tương thích hệ thống:

0100-35054 tương thích với các hệ thống điều khiển của Amat Endura, Centura và các loạt lắng đọng hơi vật lý (PVD) và thiết bị lắng đọng hơi hóa học (CVD), hỗ trợ cấu hình cắm và chơi mà không cần trình điều khiển bổ sung

3. Sự ổn định và chống can thiệp cao hơn:

AMAT 0100-35054 áp dụng thiết kế mạch dự phòng và lớp phủ che chắn điện từ, có thể duy trì báo động sai của truyền tín hiệu trong môi trường RF điện áp cao (như khắc ICP) và tốc độ thất bại nhỏ hơn 0,01%.

4. Khả năng và chức năng chẩn đoán:

Chỉ báo trạng thái đèn LED trên tàu và hỗ trợ giao diện chẩn đoán đọc mã lỗi từ xa. Nhân viên bảo trì có thể nhanh chóng xác định vị trí các bộ phận có vấn đề thông qua phần mềm chuyên dụng của AMAT (như Ứng dụng sản xuất®) để rút ngắn thời gian chết

Kịch bản ứng dụng

Quá trình khắc plasma:

Theo tỷ lệ khung hình cao khắc bộ nhớ 3D NAND, theo dõi thời gian thực của áp suất buồng được thực hiện để ngăn chặn sự phóng điện vòng cung do sự tích lũy sản phẩm phụ

Lắng đọng phim kim loại:

Đối với các quá trình kết nối đồng (như endura alps pvd), rò rỉ khí được phát hiện trong quá trình phun để tránh ô nhiễm màng

Quy trình làm sạch buồng:

Trong chu kỳ bảo trì của thiết bị CVD, việc tự động khởi động và dừng làm sạch plasma NF₃ được kích hoạt để đảm bảo rằng dư lượng được loại bỏ hoàn toàn